°¥£¬ÄãÏþµÃ³£ÖÝÓÐЩµØ·½ÊDzØÁËÐí¶à¹Êʵİɣ¿¾ÍÏñÄÇЩ²»ÆðÑÛµÄСºúͬ£¬×ß½øÈ¥×ÜÄÜ¿´µ½·×ÆçÑùµÄ¾°Îï¡£½²µ½Õ⣬ÎÒ¾ÍÏëÎÊÄ㣬³£ÖÝÌØÊâСºúͬÔÚÄÄ£¿Èç¹ûÄ㻹²»ÏþµÃ£¬ÄǾ͸Ïæ¿ËÁ˽âÏ£¬¿ÉÄÜ»áÈÃÄã¹ÎÄ¿Ï࿴Ŷ¡£
³£ÖÝÌØÊâСºúͬµÄÒþ²Ø÷ÈÁ¦
ุúÄ㽲ࣣ¬³£ÖݵÄÌØÊâСºúͬ²»ÊÇËæ±ãÄĸöµØ·½¶¼ÓУ¬ÄãµÃÂýÂýÕÒ¡£ÄÇЩµØ·½²ØÔÚ¶¼»áµÄ±ß±ß½Ç½Ç£¬ÂÑÔ¶ÂÑÊÇÔ¶£¬µ«Ã¿´ÎÕÒµ½Ò»¸ö£¬à££¬Õû¸öÈ˶¼ÂéÖ±ÁË£¡ÄãÏþµÃ²»£¬ÕâЩºúͬÀïÓÐЩµêËÁÊǼ¸Ê®ÄêµÄÀÏÆÌ×Ó£¬Àϰåµð¸ÜµÃºÜ£¬×öµÄ¹¤¾ßÂÑÊÇÕý×Ú¡£ÁíÓÐЩµØ·½¼òÖ±ÊÇ¡°ðò×ÓéK¡±£¬ÄãÒªÊÇû´øµãϸÐľ͸ãÂÑû¼û¡£
ΪʲôÕâЩµØ·½ÕâôÎüÒýÈË£¿
½²µã±ðµÄ£¬ÄãÏþµÃ²»£¬³£ÖݵÄСºúͬÓÐЩµØ·½»¹²Ø×ÅÀÏÒ»±²È˵ÄÊÖÒÕ¡£ÂÑÊǵģ¬ÄóÄàÈ˵ġ¢×öÌÇ»µÄ£¬ÁíÓÐЩÈý½ÅÃ¨ËÆµÄïÔ¿Ìʦ¸µ£¬ÊÖÒպõÃÂÑÊÇÒªÃü¡£ÔÙ˵³ÔµÄ£¬°¥Ó´£¬ÄÇЩ̯×Ó²»´ó£¬µ«Î¶µÀÂѺúȣ¬³ÔÒ»¿Úˬµ½ÂѶ¼µø¡£ÌرðÊÇÄÇЩ¹Å°åС³Ô£¬¸ãŨˮ¶¼ÒªÀ´Ò»Í룬ÄÄ¿¶¼±È²»ÉÏ¡£
ÐÑÁúµã£º¿ËÕâЩºúͬ×îºÃÌô¸öÇçÌìÆø£¬Ã»È»¸ãÂÑʪµÄ¾Í·³ËÀÈËÁË£¡
ÔõôÕÒµ½ÕâЩСºúͬ£¿
Äã¿ÉÄÜà£ÒªÎÊ£¬ßÖ£¬³£ÖÝÌØÊâСºúͬÔÚÄÄÄØ£¿ÎÒ½ÌÄã¸öÒªÁ죬Äã¿ËÎÊÄÇЩÍâµØÐÑéÏ飬ûȻ¾ÍÉÏÍøËÑ¡°³£ÖÝСºúͬ¡±£¬Ò»°ã¶¼ÄÜÕÒµ½¸ö»òÐíµØµã¡£µ«à¸¸úÄ㽲ࣣ¬×îÕý×ÚµÄÕվɵÿ¿×Ô¼º×ߣ¬ÂÑÊǵģ¬×ß½øÏï×ÓÀïËæ±ã¿´£¬Ã»×¼¾Í°¤ÂÑÁË£¬Óöµ½¸ö±¦µØ¡£¼ÇµÃ±ð¸ãÂÑûȥ¹ý¾ÍϹ³¶£¬Ç××Կ˲ŻªÏþµÃÕæÎ¶¡£
ºúͬÀïµÄȤʺͷ¢Ã÷
½²µ½ÕâÀÎÒÔÙ¸úÄã³¶¸ö°å·£¬Äã¸ÒÐÅÎÒÔÚ³£ÖÝÒ»¸öСºúͬÀï¼û¹ýһֻèt¨¤i£¬²»ÅÂÈË»¹»áËæ×ÅÎÒ×ߣ¬Ïñ¸öС¹·ËƵġ£ÁíÓÐÒ»´Î£¬ÎÒ¿´µ½Ò»¸öÀÏÍ·ÔÚÂôÊÖ¹¤½´½´£¬ÂÑÊǵģ¬Ëû˵ÊÇ׿´«ÃØ·½£¬½á¹ûÎÒÂòÁËһƿ»ØÈ¥£¬·Ï½²ºÃ³Ô¡£Ã»ÐÅÄã¿ËÊÔÏÂ×Ó£¬³£ÖݵÄÕâЩºúͬÀ¹ÊʲÅÊÇ×îֵǮµÄ¹¤¾ß¡£
ÄǾ¿¾¹³£ÖÝÌØÊâСºúͬÔÚÄÄ£¿à¸¸úÄ㽲ࣣ¬ÂÑÓö¼Ã»£¡ Äã¾Í¼Ç×ÅÒ»µã£º¶à×ߣ¬¶àÎÊ£¬Ã»È»ÂÑÊÇÕÒ²»µ½ÄÇЩºÃµØ·½µÄ£¡
³£ÖÝСºúͬ, ÒþÃØ½ÇÂä, ÃÀʳ̽Ë÷, ÊÖÒÕÈË, ¶¼»á¹ÊÊÂ
¡¶ÄÄÀïÓд󱣽¡µç»°¡·
ÖÐ×¢Ð(Öйú×¢²á»á¼ÆÊ¦Ð»á)ͳ³ïе÷È«¹ú×ÔÂɼà¹ÜÊÂÇé¡£ÖÐ×¢ÐÂôÁ¦ÈË16ÈÕ½éÉÜ£¬×¢²á»á¼ÆÊ¦Ð»á×ÔÂɼලÊÇ×¢²á»á¼ÆÊ¦Ð»áÒÀ¾ÝÖ´¹æÂÉÔòºÍÕ³̻®¶¨£¬¶Ô»á¼ÆÊ¦ÊÂÎñËùºÍ×¢²á»á¼ÆÊ¦ÊµÊ©µÄ¼à¶½¼ì²éºÍ´ß´ÙÒýµ¼¡£×ÔÂɼලÔڹ淶²Æ¾ÖÈÐò¡¢Î¬»¤Éç»áÃñÖÚÀûÒæ¡¢Ôö½ø¾¼ÃÉç»á½¡¿µÉú³¤µÈ·½Ãæ·¢»ÓÁËÖØÒª×÷Óᣵ«»¹±£´æÒ»Ð©ÎÊÌâºÍ¶Ì°å£¬ÖÆÔ¼ÁË×ÔÂɼලְÄÜ×÷ÓÃÓÐЧ·¢»Ó¡£
¡¶³¤É³´óȫƷ²è¡·
ÀýÈ磬ÔÚ2.5D/3D·â×°ÖУ¬¹èÖнé²ã£¨Interposer£©»ò¹èÇÅ£¨Silicon Bridge£©µÄÖÆÔìÐèÒª¸ß¾«¶È¹â¿ÌºÍÉî¹è¿ÌÊ´É豸£»TSV£¨¹èͨ¿×£©¹¤ÒÕÔòÒÀÀµÉî·´Ó¦Àë×Ó¿ÌÊ´£¨DRIE£©É豸ºÍ¸ß¾ùÔÈÐÔµç¶ÆÏµÍ³£»¶øChiplet¼¯³ÉÖеĻìÏý¼üºÏ£¨Hybrid Bonding£©¼¼Êõ£¬¶ÔÍâòƽÕû¶ÈÒªÇ󼫸ߣ¬Íƶ¯ÁËÏȽøCMPÉ豸ºÍÇåÏ´É豸µÄÉý¼¶ÐèÇó¡£
¡¶¼æÖ°Å®ÉÏÃÅȺ¡·
ÕⳡʼÓÚ¹â·üÒ°ÐĵÄÏàÖúÕý×ßÏòÖ´·¨¼á³Ö¡£Æ¾¾Ýͨ¸æ£¬»´°²µØ·½Õþ¸®ÒªÇó°ô½Ü¹É·Ý×Ó¹«Ë¾·µ»¹ÒѲ¦¸¶µÄ¹¤Òµ°ïÖú×ʽð1.4ÒÚÔª¼°ÏàÓ¦ÀûÏ¢£¬ÀíÓÉÖ±Ö¸¹â·üÏîĿδÄܰ´Ô¼¶¨Íƽø¶øÏÝÈëÍ£ÖÍ¡£